[发明专利]一种多工件台直写光刻系统有效
| 申请号： | 201410539094.X | 申请日： | 2014-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN104375388A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 曹旸;李阳 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 刘新合 |
| 地址： | 221399 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多工件台直写光刻系统，采用并行曝光结构，属于直写式光刻机曝光技术领域。包括在支撑结构上通过扫描方向运动导轨安装的并行式多工件台；以及通过步进方向运动导轨安装的，实现对基板曝光的光路系统。与现有的单工件台直写光刻技术相比，本发明大幅降低了结构的复杂性，使原本按顺序串行进行的曝光流程变为并行的曝光流程，极大地缩短了曝光时间，相比目前主流单工件台式直写式曝光机的产能有着显著的增加。此外，本发明一方面简化了的结构设计，能够更好的发挥真空吸附效果，提高曝光品质及生产良率；另一方面，由于多工件台的平行设计，不需要聚焦模块和对准模块进行上下移动，在保证光刻精度的同时，不会增加任何的耗时。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 台直写 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种多工件台直写光刻系统，其特征在于，包括在支撑结构上通过扫描方向运动导轨安装的并行式多工件台；以及通过步进方向运动导轨安装的，实现对基板曝光的光路系统。
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