[发明专利]一种蓝宝石晶体导模法生长装置及生长方法

摘要

本发明涉及一种蓝宝石晶体导模法生长装置及生长方法，所述蓝宝石晶体导模法生长装置，包括晶体生长炉，炉内具有一用于装氧化铝溶液的外坩埚、一置于外坩埚口上方并与外坩埚口配合的吊盘以及一倒置于外坩埚内的内坩埚；使用上述蓝宝石晶体导模法生长装置生长蓝宝石晶体的生长方法，利用通气管向倒置内坩埚内注入混合性排液气体，同时在热场内通入混合性保护性气体。本发明的优点在于：本发明能够实现长晶过程中保持坩埚内熔体液面高度，且系统不会被堵塞且无振动，同时有效增加Mo/W等金属热场使用寿命，简化装料过程，同时因模具上沿远离熔体，不易变形，也可延长模具使用寿命，降低长晶成本。

主权项

一种蓝宝石晶体导模法生长装置，其特征在于：包括晶体生长炉，炉内具有一用于装氧化铝溶液的外坩埚、一置于外坩埚口上方并与外坩埚口配合的吊盘以及一倒置于外坩埚内的内坩埚；所述吊盘的中心安装有模具，该吊盘的圆周上呈环形均匀分布有若干带动吊盘上下移动的吊杆，在吊盘上表面铺设有保温碳毯层；所述内坩埚的坩埚底设置有向内坩埚吹入排液气体的通气管，并通过该通气管使内坩埚固定在吊盘的下方，所述通气管与炉外部供气系统连接，并由上至下依次穿过保温碳毯层、吊盘和内坩埚的坩埚底。