[发明专利]增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法有效
| 申请号： | 201410541559.5 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN104404475B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 裴为华;国冬梅;陈远方;张贺;陈弘达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法，包括如下步骤：步骤1：取一待沉积的衬底；步骤2：在衬底上生长聚对二甲苯薄膜；步骤3：采用氧反应离子刻蚀工艺，将聚对二甲苯薄膜的表面制备成绒毛状纳米结构；步骤4：在制备成绒毛状纳米结构的聚对二甲苯薄膜上沉积金属，完成制备。本发明通过氧反应离子刻蚀工艺进行表面改性，在聚对二甲苯薄膜的表面形成绒毛状的纳米结构，提高聚对二甲苯薄膜的表面能，从而增强聚对二甲苯薄膜与金属层之间的粘结强度。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 二甲苯 薄膜 金属 粘附 方法 | ||
【主权项】：
一种增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法，包括如下步骤：步骤1：取一待沉积的衬底；步骤2：在衬底上生长聚对二甲苯薄膜；步骤3：采用氧反应离子刻蚀工艺，将聚对二甲苯薄膜的表面制备成绒毛状纳米结构；步骤4：在制备成绒毛状纳米结构的聚对二甲苯薄膜上沉积金属，完成制备。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
