[发明专利]具有交换偏置效应和电致阻变效应的异质结及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201410542348.3 申请日: 2014-10-14
公开(公告)号: CN104362250B 公开(公告)日: 2018-07-17
发明(设计)人: 张铭;魏纪周;邓浩亮;楚上杰;杜敏永;严辉;宋雪梅;王波;王如志;侯育冬;朱满康;汪浩 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01L43/10 分类号: H01L43/10;H01L43/12
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王文君
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于磁性材料领域,提供一种具有交换偏置效应的铁磁/反铁磁异质结,以La0.7Sr0.3MnO3作为铁磁层及底电极层,掺杂有Ba、Ca、Sr、Pb中的一种或多种的BiFeO3作为反铁磁层,钙钛矿结构的铝酸镧、钛酸锶或镓酸钕单晶为衬底。本发明还提出所述铁磁/反铁磁异质结的制备方法。本发明提出的材料具有明显的电致阻变性能,在同一电场强度下具有两个不同的电阻状态,通过循环多次测量E‑I曲线可知,两个电阻状态保持较好,材料具有较好的耐疲劳性能。对材料的P‑E曲线分析,材料具有较好的铁电性,在电场强度为60KV/cm时,材料的剩余极化强度为Pr=2.85μC/cm2。
搜索关键词: 异质结 电阻状态 反铁磁 电致 偏置 铁磁 制备 磁性材料领域 钙钛矿结构 耐疲劳性能 底电极层 多次测量 反铁磁层 曲线分析 剩余极化 铝酸镧 铁磁层 铁电性 钛酸锶 镓酸钕 变性 衬底 单晶 交换 掺杂
【主权项】:
1.一种具有交换偏置效应和电致阻变效应的铁磁/反铁磁异质结,其特征在于,以La0.7Sr0.3MnO3作为铁磁层及底电极层,掺杂有Ba、Ca、Sr、Pb中的一种的BiFeO3作为反铁磁层,掺杂的化学计量比为0.1‑0.5;钙钛矿结构的铝酸镧、钛酸锶或镓酸钕单晶为衬底;所述铁磁/反铁磁异质结通过以下方法制备而得:(1)钙钛矿结构的衬底清洗后吹干;(2)衬底放入脉冲激光沉积系统的沉积腔中,同时将需要沉积的La0.7Sr0.3MnO3与掺杂的BiFeO3靶材一同放入沉积腔中,靶材与衬底之间的距离为5‑6cm;(3)启动设备开始抽真空,将脉冲激光沉积系统沉积腔的压强抽至数量级为7.6‑9.7×10‑4Pa 的背底真空;(4)在沉积之前向脉冲激光沉积系统的腔体中充入氧气,使在沉积La0.7Sr0.3MnO3时腔体压力为8‑10Pa;(5)打开激光器开始沉积,沉积开始前对衬底升温,升至预先设定好的沉积温度,在沉积La0.7Sr0.3MnO3时沉积温度为750‑780℃,沉积La0.7Sr0.3MnO3时采用恒压模式,电压为27KV,频率为7‑10 Hz ,沉积时间为20s‑40s,退火压强为1000Pa,退火温度为800‑850℃;(6)退火完毕,降温之后,再沉积掺杂的BiFeO3,沉积掺杂的BiFeO3时,采用恒能模式,激光能量为350MJ,频率为6‑9 Hz ;在沉积之前向腔体中充入氧气,使在沉积掺杂的BiFeO3时腔体压力为3‑5Pa;沉积时间为70‑90min,沉积掺杂的BiFeO3时沉积温度为650‑700℃;(7)掺杂的BiFeO3退火时间为30min,退火温度为670‑700℃。
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