[发明专利]光学元件、光学装置以及电子设备有效

专利信息
申请号: 201410545539.5 申请日: 2014-10-15
公开(公告)号: CN104570325B 公开(公告)日: 2017-12-05
发明(设计)人: 久利龙平 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: G02B26/00 分类号: G02B26/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 代理人: 余刚,吴孟秋
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供光学元件、光学装置以及电子设备。光学元件(5)包括导电性的固定反射膜;与固定反射膜(54)相对的可动反射膜(55);设置于固定反射膜(54)的与可动反射膜(55)相反侧上的透光性的第二绝缘膜(573);以及设置在第二绝缘膜(573)的与固定反射膜(54)相反侧上、且在从固定反射膜(54)和可动反射膜(55)的膜厚方向观察的元件俯视观察中,位于固定反射膜(54)、可动反射膜(55)及第二绝缘膜(573)互相重叠的区域内,接收由固定反射膜(54)出射的光的受光部(58)。
搜索关键词: 光学 元件 装置 以及 电子设备
【主权项】:
一种光学元件,其特征在于,具备:导电性的第一反射膜;第二反射膜,与所述第一反射膜相对;透光性的绝缘膜,设置在所述第一反射膜的与所述第二反射膜相反侧;以及受光部,设置在所述绝缘膜的与所述第一反射膜相反侧,且在从所述第一反射膜和所述第二反射膜的膜厚方向观察的俯视观察中,设于所述第一反射膜、所述第二反射膜及所述绝缘膜互相重叠的区域内,接收由所述第一反射膜出射的光,其中,在所述受光部的与所述绝缘膜相反侧、且在所述俯视观察中至少与所述受光部重叠的区域,设置有第三绝缘膜,以及其中,在所述第三绝缘膜的与所述受光部相反侧、且在所述俯视观察中至少与所述受光部重叠的区域,设置有第二导电膜。
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