[发明专利]用于激光自混合干涉系统的反馈光强度自动调节装置

摘要

本发明公开了一种自动控制反馈光强度水平的装置。该装置包括：分光镜、反光镜、中性可调衰减片、光隔离器、光电探测器、单片机、隔离放大电路、步进电机以及连接步进电机与衰减片支架的传动机构。由分光镜、反光镜和光隔离器构成的分离光路分离出从目标反射回来的激光。反射光经1:1分光镜，一部分进入到激光腔内与腔内激光产生干涉，一部分入射到光电二极管上，通过光电探测器把光功率转换为电信号，并通过输入电路输入到单片机中。单片机通过编程实现输入的光功率P与人为设定的目标功率P₀之间的比较，并根据比较结果向外输出脉冲信号控制步进电机，带动衰减片转动调节衰减强度，进而达到调节反馈光强度的目的。

主权项

一种用于激光自混合干涉系统的反馈光强度自动调节装置，包括：激光器(18)、分光镜(1)、中性可调衰减片(5)、第一反光镜(7)、第二反光镜(8)、第三反光镜(9)、光电探测器(2)和处理器(4)，其特征在于，所述分光镜(1)、中性可调衰减片(5)和待测目标(10)依次设置在激光器(18)的出射光的光轴上，所述分光镜为1:1分光镜，能够将入射光分为两束强度相同、传播方向垂直的光；所述第一反光镜(7)固定在所述待测目标(10)的表面上，所述第二反光镜和第三反光镜设置在一支架上，且其位置关系设置为通过第二反光镜(8)和第三反光镜(9)将第一反光镜(7)反射的来自激光器的光反射到分光镜(1)，且反射光的方向与出射光方向垂直；所述反射光经过分光镜后，一部分经分光镜(1)反射后回到所述激光器(18)，与激光器(18)腔内的光线发生混合干涉；另一部分方向不变，进入所述光电探测器(2)，光电探测器(2)将信号输出给所述处理器(4)，处理器(4)对光电探测器探测到的光信号强度进行处理，并生产相应的控制信号，通过该控制信号控制所述中性可调衰减片(5)；所述激光器由驱动电源(17)驱动。