[发明专利]一种晶圆测试数据的处理方法及系统有效
| 申请号： | 201410549126.4 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN105574039B | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 余胜元;牛海军;关玉娇;魏红生 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/25 | 分类号： | G06F16/25 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆测试数据的处理方法，包括：提供待测晶圆，对待测晶圆进行晶圆测试，获取该待测晶圆的第一测试数据组；于第一测试数据组中提取并整理部分数据，以形成第二测试数据组；对第二测试数据组进行运算操作，得到监控测试数据；对第二测试数据组和监控测试数据进行格式标准化转换操作后，生成一标准数据集合，对该标准数据集合进行压缩操作，并将压缩后的标准数据集合存储至一数据库中。本发明还公开了一种晶圆测试数据的处理系统，为工厂产品部门的产品质量监控和分析提供数据支持，在保证数据数量和质量的前提下，既能兼顾数据存储的效率，又能提高存储资源的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试数据 处理 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆测试数据的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：提供待测晶圆，并对所述待测晶圆进行晶圆测试，以获取该待测晶圆的第一测试数据组；于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据，形成第二测试数据组；对所述第二测试数据组进行运算操作，得到监控测试数据；对所述第二测试数据组和所述监控测试数据进行格式标准化转换操作后，生成一标准数据集合；对所述标准数据集合进行压缩操作，并将压缩后的所述标准数据集合存储至一数据库中。
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