[发明专利]可调谐的纳米天线及其制备方法在审
| 申请号： | 201410553995.4 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN104319471A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 肖淑敏;刘政显;易宁波;宋清海 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01Q1/38 | 分类号： | H01Q1/38;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 张立娟 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供可调谐的纳米天线，包括三层，上层的金属结构、中间层的单层石墨烯、底部的基底材料，上层的金属结构为蝴蝶结型结构，所述蝴蝶结型结构包括两个等腰梯形和一个正方形组成。可调谐的纳米天线的制备方法，包括如下步骤：利用化学气相沉积法方法在SiO2基底上覆盖一层单层石墨烯；在单层石墨烯表面旋涂光刻胶；用电子束刻蚀技术完成结构的刻蚀和显影；采用真空电子束蒸镀技术实现金层的蒸镀；经过lift-off过程得到最终的纳米光学天线。尺寸小：该超材料结构厚度在几十纳米级别，更加有利于集成光学中的应用。信号强度高：在特定频率入射光的照射下，该纳米光学天线对磁场增强可达20000多倍，更便于信号的探测。调制效果明显。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 纳米 天线 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种可调谐的纳米天线，其特征在于：其包括三层，上层的金属结构、中间层的单层石墨烯、底部的基底材料，上层的金属结构为蝴蝶结型结构，所述蝴蝶结型结构包括两个等腰梯形和一个正方形组成，两个等腰梯形的上底位于正方形相对的两条边上，两个等腰梯形的上底的长度和正方形的变成相等，正方形的边长G为20±2nm，两个等腰梯形的下底的长度D为1.2±0.1μm，两个等腰梯形的高相等，两个等腰梯形的高的长度加上正方形的边长的长度等于等腰梯形的下底的长度D，可调谐的纳米天线的周期P=2.5±0.2μm，金属结构厚度H1=20±5nm，单层石墨烯厚度H2=0.33nm±0.05nm。
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