[发明专利]三轴MEMS加速度计信号处理电路的串扰评价方法有效
| 申请号： | 201410554076.9 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN104316862B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张紫乾;贺克军;龙善丽;白涛;吴慧;王丽 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫,项丽 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三轴MEMS加速度计信号处理电路的串扰评价方法，为（1）内部调整调整信号处理电路中的参数而改变其工作状态，使得对应于三轴MEMS加速度计的每个轴的工作数据一致；（2）外部调节调节三个轴各自的输入，使其中两个轴的输出电压达到一稳定值；再调节第三轴的输入使其输出电压改变，第三轴的输出电压每改变同一刻度值时，监测另外两轴的输出电压的变化量，该变化量即为串扰；重复上述过程分别评价三轴中每个轴对其他两轴的串扰。本方法可在测试三轴加速度计信号处理电路性能参数时，量化电路串扰程度，保证电路测试的有效性，且节约成本，对提高测试的可靠性具有重要的意义可广泛推广。 | ||
| 搜索关键词： | mems 加速度计 信号 处理 电路 评价 方法 | ||
【主权项】：
一种三轴MEMS加速度计信号处理电路的串扰评价方法，其特征在于：该方法为：（1）内部调整：调整信号处理电路中的参数而改变其工作状态，使得对应于三轴MEMS加速度计的每个轴的工作数据一致；（2）外部调节：调节三个轴各自的信号处理电路的输入，每个轴的信号处理电路的输入具有两个可调电容器；通过调节所述的可调电容器而调节每个轴的差分输入电容，使其中两个轴的信号处理电路的输出电压达到一稳定值；再调节第三轴的信号处理电路的输入使其输出电压改变，所述的第三轴的信号处理电路的输出电压每改变同一刻度值时，监测另外两轴的信号处理电路的输出电压的变化量，该变化量即为串扰；重复上述过程分别评价三轴中每个轴对其他两轴的串扰。
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