[发明专利]一种固结磨料化学机械抛光钽的加工方法有效
| 申请号： | 201410556164.2 | 申请日： | 2014-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN104400619A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 李军;宋龙龙;朱永伟;左敦稳;黄建东 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/005;C09G1/04 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种固结磨料化学机械抛光钽（Ta）的加工方法，其特征是包括：采用氧化铈固结磨料抛光垫对钽或钽膜进行抛光加工，加工过程中控制抛光压力在10~100kpa之间，抛光盘的转速控制在50~150rpm之间，抛光液为不含磨料的去离子水、表面活性剂、络合剂和pH调节剂组成，抛光液的pH值调节在8~11之间，抛光液的温度控制在20~30℃范围内，抛光液流速在80~150ml/min之间，可获得纳米级精度的表面粗糙度，表面质量优。本发明提高了钽的加工效率和表面质量，成品合格率高，不会造成环境污染，清洗容易，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固结 磨料 化学 机械抛光 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种固结磨料化学机械抛光钽的加工方法，其特征是：采用固结磨料抛光垫对钽进行抛光加工，加工过程中控制抛光压力在10~100 kpa之间，抛光垫的转速控制在50~150rpm之间，抛光液的pH值调节在8~11之间，抛光液的温度控制在20~30℃范围内，抛光液流速在80~150 ml/min之间，直至表面质量满足设定要求。
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