[发明专利]一种研磨机气压伺服系统的拉力控制方法有效
申请号: | 201410557112.7 | 申请日: | 2014-10-21 |
公开(公告)号: | CN104440510A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 高珺;胡国良;朱霞 | 申请(专利权)人: | 苏州合欣美电子科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/005 | 分类号: | B24B37/005 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 许方 |
地址: | 215299 江苏省苏州市苏州高新技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种研磨机气压伺服系统的拉力控制方法,所述研磨机气压伺服系统包括控制器、采样模块、气缸,所述采样模块包括压力传感器、拉力传感器、到位传感器,所述气缸包括上气缸和下气缸,通过对上、下气缸的气压以及上研磨盘的拉力控制,使得上研磨盘平稳的压到工件上或离开工件,避免对工件造成损坏,同时,控制上研磨盘匀速缓慢的到达悬挂位置,避免对下气缸的冲击,造成下气缸的损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 研磨机 气压 伺服系统 拉力 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种研磨机气压伺服系统的拉力控制方法,所述研磨机气压伺服系统包括控制器、采样模块、气缸,所述采样模块包括压力传感器、拉力传感器、到位传感器,所述气缸包括上气缸和下气缸,所述控制器分别与压力传感器、拉力传感器、到位传感器、气缸连接,所述压力传感器设置于研磨机主体的中心位置,拉力传感器设置于上气缸的顶部,到位传感器设置于下气缸的底部,所述下气缸与研磨机的上研磨盘连接,所述压力传感器用于检测上研磨盘对工件的压力,所述拉力传感器用于检测气缸对上研磨盘的拉力,所述到位传感器用于检测上研磨盘的到位信息,所述控制器根据压力传感器检测的压力信号及拉力传感器检测的拉力信号,输出控制信号控制上气缸和下气缸的气压,其特征在于:所述控制器根据预先设定的工序参数判断上研磨盘处于上升或下降过程,如果上研磨盘处于上升过程,依次执行步骤1至步骤5,如果上研磨盘处于下降过程,依次执行步骤a至步骤d:步骤1、控制器的中央处理器判断压力传感器检测到的当前压力是否为0,如果为0,判断拉力传感器当前的拉力是否为0,如果为0,控制器的中央处理器控制下气缸的气压升高,保持上气缸的气压不变,增加对上研磨盘的拉力至预先设定的第一拉力值,上研磨盘以第一速度上升;步骤2、上研磨盘上升至预先设定的高度下限时,控制器的中央处理器控制上气缸的气压减小,保持下气缸的气压不变,将上研磨盘的拉力增加至预先设定的第二拉力值,上研磨盘以第二速度上升;步骤3、上研磨盘上升至预先设定的高度上限时,控制器的中央处理器分别控制上、下气缸的气压减小,控制上研磨盘的拉力增加,控制上研磨盘以第三速度上升;步骤4、到位开关检测到上研磨盘的到位信号后,发送至控制器的中央处理器,控制器的中央处理器控制上研磨盘停止,上、下气缸的气压为0,上研磨盘的拉力增加至第三拉力值;步骤5、保持上研磨盘静止悬挂于气缸的下部;步骤a、控制器的中央处理器控制上、下气缸的气压增加,上研磨盘以第三速度下降;步骤b、上研磨盘下降至预先设定的高度上限时,控制器的中央处理器控制上气缸的气压增加,下气缸的气压不变,上研磨盘的拉力减小至预先设定的第二拉力值,上研磨盘以第二速度下降;步骤c、上研磨盘下降至预先设定的高度下限时,控制器的中央处理器控制上气缸的气压不变、下气缸的气压增加,上研磨盘的拉力减小至预先设定的第一拉力值,上研磨盘以第三速度下降;步骤d、上研磨盘下降至工件的上表面,压力传感器检测上研磨盘对工件的压力信号,控制器的中央处理器根据该压力信号,控制上、下气缸的气压减小,上研磨盘的拉力减小,直至上研磨盘对工件的压力达到预先设定的压力初始值,下气缸的气压减小至0,上研磨盘的拉力减小至0。
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