[发明专利]一种水平电化学沉积金属的方法

摘要

本发明公开了一种在薄片基板上实施电化学沉积金属的方法。本发明所公开的在薄片基板上实施电化学沉积金属的方法是把电化学沉积金属工艺中的金属阳极置于电化学沉积金属工艺中的电解质溶液液位上方，电化学沉积金属工艺中电解质溶液在接触金属阳极后自上而下的流到薄片基板的上表面。上金属阳极在正电势的作用下发生氧化反应，失去电子生成金属离子后随电解质溶液流下到薄片基板的上表面。电解质溶液中的金属离子在薄片基板上的阴极获得电子，生成金属并沉积在薄片基板的阴极表面。

主权项

一种对薄片基板的阴极表面实施水平电化学沉积金属的方法，其特征在于，所述的水平电化学沉积金属的方法是使电解质溶液在接触上金属阳极后向下连续流向待电化学沉积金属的薄片基板的上阴极表面；电解质溶液浸没下金属阳极后与待电化学沉积金属的薄片基板的下阴极表面接触，或者电解质溶液接触下金属阳极后连续向上喷向待电化学沉积金属的薄片基板的下阴极表面。