[发明专利]一种草酸系ITO蚀刻液及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201410563719.6 | 申请日： | 2014-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN104388090A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 康威 | 申请（专利权）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;罗瑶 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种草酸系ITO蚀刻液及其制备方法和应用，该草酸系ITO蚀刻液，以重量百分比计，包含0.5-10％的草酸、0.1-0.5％的烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性剂、0.1-5%的有机多元膦酸和余量的水。本发明的草酸系ITO蚀刻液能够在温和条件下对ITO层进行蚀刻，且蚀刻后不会有残渣和大量泡沫产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 草酸 ito 蚀刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种草酸系ITO蚀刻液，其特征在于，以重量百分比计，包含0.5‑10％的草酸、0.1‑0.5％的烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性剂、0.1‑5%的有机多元膦酸和余量的水。
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