[发明专利]用于驱动和/或检测机械元件的运动的光机械器件有效
| 申请号： | 201410568859.2 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN104579224B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·海恩茨;劳伦特·杜拉福格;纪尧姆·约丹 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 归莹;张颖玲 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种用于驱动和/或检测机械元件的运动的光机械器件。光机械器件包括支座(20)，支座上具有：锚固到支座并且设计成相对于支座运动的至少一个机械元件(26)，以及驱动和/或检测机械元件的运动或运动频率变化的器件，其中，驱动和/或检测装置的至少一部分在机械元件和支座之间被布置在机械元件的全体或一部分下方，其中，驱动和/或检测装置包括相对于支座固定的光学器件(21)，光学器件包括在距机械元件确定距离处被布置在机械元件的全体或一部分下方的至少一个光波导(22)，且至少一个光波导设计成传播至少一个与机械元件相互作用的具有给定波长的光波，且其中，光波导在距机械元件确定距离处，使得光波导的渐逝场与机械元件相互作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 驱动 检测 机械 元件 运动 器件 | ||
【主权项】：
1.一种光机械器件，包括：支座，并且在所述支座上具有：至少一个机械元件，所述至少一个机械元件被锚固到所述支座并且包括被设计成相对于所述支座运动的部分，以及用于驱动所述机械元件的所述部分和/或用于检测所述机械元件的所述部分的运动或运动频率的变化的装置，其中，所述驱动和/或检测装置包括相对于所述支座固定的光学器件，所述光学器件包括至少一个光波导和光谐振器，所述光谐振器光耦合到所述光波导，其中，所述至少一个光波导和所述光谐振器都相对于所述支座固定，所述光学器件在距所述机械元件确定的距离处、在所述机械元件的所述部分与所述支座之间被布置在所述机械元件的所述部分的全体或一部分的下方，并且所述光学器件被设计成传播至少一个具有给定波长的光波，所述光波被设计成与所述机械元件相互作用，并且其中，所述光学器件位于距所述机械元件确定的距离处，使得所述光学器件的渐逝场与所述机械元件相互作用，其中，所述机械元件包括被设计成接收一个或多个粒子的接收区域，所述一个或多个粒子能够引起或改变所述机械元件的运动，以便通过由所述检测装置提供的信号确定所述一个或多个粒子的物理性质。
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