[发明专利]传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置有效
| 申请号： | 201410573529.2 | 申请日： | 2014-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN104596675B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 水岛信幸;神谷俊幸;河合宏纪 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件的特征在于，在将相互正交的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，分别至少具有：一张第一压电板，其由X截割水晶板构成并根据沿着A轴方向的外力而输出电荷；一张第二压电板，其由Y截割水晶板构成，沿A轴方向与第一压电板层叠，并根据B轴方向的外力而输出电荷；一张第三压电板，其由Y截割水晶板构成，以在其与第一压电板之间夹持第二压电板的方式，并且以绕A轴旋转的配置沿A轴方向层叠，并根据C轴方向的外力而输出电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 检测 装置 机器人 电子 部件 输送 | ||
【主权项】：
1.一种传感器元件，其特征在于，在将相互正交的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，所述传感器元件具有：至少一张第一压电板，其由X截割水晶板构成，根据沿着所述A轴方向的外力而输出电荷；至少一张第二压电板，其由Y截割水晶板构成，且与所述第一压电板在所述A轴方向上层叠，并根据所述B轴方向的外力而输出电荷；以及至少一张第三压电板，其由Y截割水晶板构成，以在其与所述第一压电板之间夹持所述第二压电板的方式，并且以绕所述A轴旋转的配置而沿所述A轴方向层叠，并根据所述C轴方向的外力而输出电荷，所述第二压电板位于所述第一压电板与所述第三压电板之间，位于最靠所述第二压电板侧的所述第一压电板以及位于最靠所述第一压电板侧的所述第二压电板的所述B轴方向的热膨胀系数在实际应用上一致。
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