[发明专利]一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的双平面线圈驱动式微泵

摘要

本发明公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的双平面线圈驱动式微泵，包括泵体、将该泵体分成上、下泵体的基片，上泵体的上表面设有上平面螺旋线圈，该上平面螺旋线圈与外部电源电连接，基片的上表面设有正磁致伸缩效应薄膜，下表面设有逆磁致伸缩效应薄膜；泵体上设有进液口、出液口，泵体内设有阀腔体，基片与所述上泵体形成上液体腔，基片与下泵体形成下液体腔；进液口、阀腔体均与所述上、下液体腔连通，阀腔体与所述出液口连通；上、下液体腔与所述进液口的连接处均设有单向进液膜，上、下液体腔与所述阀腔体的连接处均设有单向出液膜。本发明，采用双液体腔，在相同体积下，具有更大的泵腔，流量比现有膜式微泵大。

主权项

一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的双平面线圈驱动式微泵，包括泵体、将该泵体分成上、下泵体的基片，所述上泵体的上表面设有上平面螺旋线圈，该上平面螺旋线圈与外部电源电连接，所述基片的上表面设有正磁致伸缩效应薄膜，下表面设有逆磁致伸缩效应薄膜；其特征在于；所述泵体上设有进液口、出液口，所述泵体内设有阀腔体，所述基片与所述上泵体形成上液体腔，所述基片与所述下泵体形成下液体腔；所述进液口、阀腔体均与所述上、下液体腔连通，所述阀腔体与所述出液口连通；所述上、下液体腔与所述进液口的连接处均设有单向进液膜，所述上、下液体腔与所述阀腔体的连接处均设有单向出液膜。