[发明专利]多光束光学厚膜监测仪

摘要

本发明涉及一种多光束光学厚膜监测仪，它属于一种光学镀膜实时监控设备。本发明主要是解决现有的光学膜厚仪存在的监控点少、监控精度低且监控效率差的技术问题。本发明采用的技术方案是多光束光学厚膜监测仪，它包括单色仪、光电探测器、信号放大器、控制计算机、位置触发电路和会聚透镜，其中它还包括一个卤钨灯；一个旋转斩光器旋转斩光器设在一个旋转托盘上并且能以卤钨灯灯丝为中心旋转；至少三个光纤光路每一个光纤光路由透镜和光纤组成；基板支架基板支架设在旋转斩光器的下方，监控点设在基板支架上。本发明具有监控点多、监控精度高和成本低的优点。

主权项

一种多光束光学厚膜监测仪，它包括单色仪(10)、光电探测器(12)、信号放大器(13)、控制计算机(14)、位置触发电路(16)和会聚透镜(17)，其特征在于：它还包括：一个卤钨灯(1)：卤钨灯(1)设置在旋转斩光器(2)内；一个旋转斩光器(2)：旋转斩光器(2)设在一个旋转托盘上并且能以卤钨灯(1)灯丝为中心旋转，在旋转斩光器(2)中间位置上设有一个光出射孔(3)，在旋转斩光器(2)的轴上连接有光电开关或者编码器，以设置针对各个光路和暗场位置的触发脉冲，用于选择对应的信号处理电路；至少三个光纤光路：每一个光纤光路由透镜(4)和光纤(5)组成，光纤光路以卤钨灯(1)灯丝为中心依次环绕设置在旋转斩光器(2)的周围，且光纤光路中的透镜(4)位于旋转斩光器(2)光出射孔(3)射出光束的光路上，光纤(5)位于透镜(4)的后面；其中一个光纤光路为参考光路，其余光纤光路为监控光纤光路；基板支架(6)：基板支架(6)设在旋转斩光器(2)的下方，监控点(7)设在基板支架(6)上。