[发明专利]一种透射电镜金属试样制备方法

摘要

本发明公开了一种透射电镜金属试样制备方法，包括机械加工、激光开斜孔和酸洗-清洗斜孔周边区域；主要适用于铁、镁、Ti等常规金属。具体讲是，首先采用机械加工方法通过切割、磨削等方式使金属片初步达到使金属试样厚度50-100μm；然后，采用波长小于1064nm的短或超短脉冲激光对金属薄片以30-60°倾角进行打斜孔加工；针对不同金属采用恰当的酸性或碱性溶液，对金属薄片激光开孔区域进行酸洗或碱洗后随即用常规有机溶剂清洗，酸洗-清洗或碱洗-清洗清洗过程重复1-3次。本发明相对于离子减薄制备透射电镜试样缩短了周期，试样的后期处理比较简单，且降低了成本。

主权项

一种透射电镜金属试样制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、采用机械切割方法将金属切割成厚度为0.2‑0.5mm的金属片，将所述金属片磨削加工至50‑100μm厚，磨削加工过程中，控制金属片的温度小于100℃，以保证金属试样组织不发生改变；步骤二、采用脉宽为纳秒或皮秒或飞秒级的激光器对上述金属片进行激光开孔，激光器的激光波长小于1064nm，激光光束与金属片表面的倾角为30‑60°，激光辐射作用后在金属片上开出斜孔；步骤三、对金属片上斜孔处进行酸洗或碱洗，并随即清洗，这样的酸洗‑清洗或碱洗‑清洗过程重复1‑3次。