[发明专利]分组来自抛光基板的光谱数据有效
| 申请号： | 201410578917.X | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN104849218B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | J·D·戴维;B·A·斯韦德克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明尤其描述了基于计算机的方法。所述方法包含通过一或多个计算机接收在基板上的数个不同位置处从基板反射的数个测量光谱。所述基板包含具有不同结构特征的至少两个区域。所述方法还包含：通过一或多个计算机对数个测量光谱执行群集算法以基于数个测量光谱的光谱特性将数个测量光谱分成若干群组；选择所述若干群组中的一个群组以提供选定群组，所述选定群组具有来自数个测量光谱的光谱子集；和在一或多个计算机中，基于选定群组的光谱子集确定基板的至少一个表征值。 | ||
| 搜索关键词： | 分组 来自 抛光 光谱 数据 | ||
【主权项】：
1.一种用于分组光谱的基于计算机的方法，包含：通过一或多个计算机接收在基板上的数个不同位置处从所述基板反射的数个测量光谱，所述基板包含具有不同结构特征的至少两个区域；通过所述一或多个计算机对所述数个测量光谱执行群集算法，以基于所述数个测量光谱的光谱特性将所述数个测量光谱分成若干群组，所述群组的数目大于所述基板上预计的具有不同结构特征的区域的数目；选择所述若干群组中的一个群组以提供选定群组，所述选定群组具有来自所述数个测量光谱的光谱子集；和在所述一或多个计算机中基于所述选定群组的所述光谱子集确定所述基板的至少一个表征值。
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