[发明专利]一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法在审
| 申请号： | 201410579062.2 | 申请日： | 2014-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN105093406A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 姜城 | 申请（专利权）人： | 派尼尔科技（天津）有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学器件技术领域，尤其涉及一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法，包括基底以及位于所述基底上的波导层，所述基底采用铌酸锂晶体，所述波导层位于所述铌酸锂晶体的+z面,条波到的方向是铌酸锂晶体的y方向，在所述基底上制备波导层采用的是光刻工艺。所制备的光波导性能优良，损耗小，能够在各种光学研究中起到良好的作用，对钛扩散后的铌酸锂晶体采用富锂气相输运平衡处理，达到近化学计量比（NS，[Li]/[Nb]>99%）。近化学计量比铌酸锂晶体具有很多更加优异的性能：晶体缺陷少，光学均匀性好，具有更强的电光和非线性效应。钛扩散光波导具有波导性能优良，且损耗较小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂光 波导 通过 扩散 vte 制备 化学 计量 方法 | ||
【主权项】：
一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法，其特征在于：包括基底以及位于所述基底上的波导层，所述基底采用铌酸锂晶体，所述波导层位于所述铌酸锂晶体的+z面,条波到的方向是铌酸锂晶体的y方向。
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