[发明专利]晶体管及其制作方法有效
| 申请号： | 201410581474.X | 申请日： | 2014-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105633145B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 冉晓雯;蔡娟娟;周家玮;徐振航 | 申请（专利权）人： | 元太科技工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶体管及其制作方法，晶体管包括基板、栅极层、第一绝缘层、主动层、源极及漏极。栅极层配置于第一绝缘层上，且具有多个第一贯孔。第一绝缘层覆盖栅极层及基板的被这些第一贯孔所暴露出的部分，并形成分别对应于这些第一贯孔的多个凹陷。主动层配置于第一绝缘层上，并具有多个第二贯孔，其中这些第二贯孔分别与这些凹陷相通。源极配置于部分主动层上。漏极配置于另一部分主动层上。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶体管，其特征在于，包括：基板；栅极层，配置于该基板上，且具有多个第一贯孔，其中该些第一贯孔彼此分离；第一绝缘层，覆盖该栅极层及该基板的被该些第一贯孔所暴露出的部分，并形成分别对应于该些第一贯孔的多个凹陷；主动层，配置于该第一绝缘层上，并具有多个第二贯孔，其中该些第二贯孔分别与该些凹陷相通；源极，配置于部分该主动层上；以及漏极，配置于另一部分该主动层上。
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