[发明专利]一种离子注入机的自动手动真空模块切换的方法在审
| 申请号： | 201410581918.X | 申请日： | 2014-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105889045A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王博喜 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/00 | 分类号： | F04B49/00;F04B49/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机的自动真空手动真空模块切换的方法，通过软件界面来控制设备开关，包括自动按钮(1)、自动模式(手动操作屏蔽)(2)、自动操作从第一步开始(3)、符合条件判断(4)、相应操作(5)、跳过(6)、进行下一步(7)、完成(8)、手动按钮(9)、手动模式(10)、手动可操作(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 自动 手动 真空 模块 切换 方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入机的自动真空手动真空模块切换的方法，包括自动按钮(1)、自动模式(手动操作屏蔽)(2)、自动操作从第一步开始(3)、符合条件判断(4)、相应操作(5)、跳过(6)、进行下一步(7)、完成(8)、手动按钮(9)、手动模式(10)、手动可操作(11)。
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