[发明专利]掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法

摘要

本发明涉及一种掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法。掩模检查装置用于检查以期望图案进行沉积中所用到的具有多个开口的掩模，能够通过掩模的开口检查掩模的缺陷。掩模检查装置包括：检测单元，检测掩模的开口中的每一个的边界线；存储单元，存储待被利用掩模执行沉积的部件的信息；设置单元，利用所存储的待被执行沉积的部件的信息为开口中的每一个设置第一边界线、第二边界线和安全区域，其中第一边界线形成沉积区域的轮廓，第二边界线包围第一边界线，安全区域插入在第一边界线与第二边界线之间；以及控制单元，确定被检测单元检测的掩模的边界线是否不接触第一边界线和第二边界线以及边界线是否在安全区域中。

主权项

1.一种虚拟图产生装置，用在掩模检查装置中，该虚拟图产生装置用于产生掩模的虚拟图，所述虚拟图产生装置包括：控制单元，根据所述掩模的多个开口的虚拟边界线产生所述虚拟图，并将所述虚拟图与所述掩模的所述多个开口的被检测到的边界线进行比较，其中所述虚拟边界线利用与待被利用所述掩模执行沉积的部件有关的信息来设置，并且其中所述信息包括在待被利用所述掩模执行沉积的所述部件中的沉积区域的位置、形状和尺寸。