[发明专利]栅偏振元件、紫外线偏振光照射方法及装置、光取向装置有效
| 申请号： | 201410588358.0 | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104749676B | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 鹤冈和之 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供一种栅偏振元件、紫外线偏振光照射方法、紫外线偏振光照射装置，该非反射型的栅偏振元件，制造较容易，在以紫外线为对象波长那样的容易发生氧化的条件下使用的情况下也能够稳定得到希望的偏振性能。在透明基板(1)上设置的条纹状的栅(2)由多个线状部(21)形成，该多个线状部具有由氮化钛或/及氮氧化钛形成的主要的层，并且不包含单体金属层，将s偏振光有选择地吸收，使p偏振光透过，从而使光偏振。各线状部(21)以能够使紫外线偏振的间隔t离开。来自水银灯(51)的紫外线被栅偏振元件(53)偏振，通过将紫外线偏振光对工件(10)照射，将工件(10)进行光取向。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 元件 紫外线 偏振光 照射 方法 装置 取向 | ||
【主权项】：
1.一种紫外线偏振光照射方法，其特征在于，在包含260nm以下的亮线光谱的来自水银灯的光到达的位置处配置非反射型栅偏振元件，将透过该非反射型栅偏振元件后的波长260nm以下的紫外线的偏振光向对象物照射，上述非反射型栅偏振元件由透明基板、以及设在透明基板上的由多个线状部形成的条纹状的栅构成，通过使入射的光中的特定的偏振光有选择地透过，使200nm以上且260nm以下的波长的紫外线偏振，形成栅的多个线状部具有由氮化钛或/和氮氧化钛形成的主要的层，不包含单体金属层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于优志旺电机株式会社，未经优志旺电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410588358.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
