[发明专利]一种曲面上微结构滚压成型制造方法

摘要

本发明公开了一种曲面上微结构滚压成型制造方法，它有六大步骤。通过将模板在棒料外表面上的滚压，再将其刻蚀，从而实现曲面上的微结构的制造。相对于传统只能在平面上制造微结构的方法，本发明能够通过更简易的方式，突破了传统光刻和微接触压印等方法只能在平面上制作微结构的局限性，在曲面上制造精密的微结构。压印模板经过清洗后，可反复使用。如此能够实现高效，廉价的制造方法，而且相比于其它微纳米压印，其对环境洁净程度要求更低。

主权项

一种曲面上微结构滚压成型制造方法，其特征在于：该方法具体步骤如下：步骤一：根据将要制造结构的曲面情况，通过光刻、化学刻蚀及微机械加工方法，设计制造出所需的平面压印模板；步骤二：在另一平面上附着一层黏性均匀薄的转印介质，将压印模板压在粘附有转印介质的平面上，使转印介质能够均匀的覆盖至其上；对压印模板的要求是：表面除需要加工的结构外，应当保持光滑，为了保证滚压过程中无相对滑动且接触良好，压印模板应选用相对柔软材料；步骤三：通过精确控制滚压过程，将压印模板上的转印介质转印至将要制造结构的的外表面上，从而实现将模板上的结构转印至其上；对圆柱棒料，通过简单滚压直接实现；对圆柱、锥体复合表面，分多次对圆柱面和锥面滚压实现；步骤四：根据不同棒料的材质和转印介质，选用合适的刻蚀方法对带有转印介质的棒料进行刻蚀处理，刻蚀方法的选择要能够刻蚀棒料，而不能刻蚀转印介质，从而将转印的结构刻蚀至所需深度；步骤五：棒料上刻蚀结构完成后，将残余的转印介质去除，最终在棒料上得到所需的精密微结构；步骤六：压印模板经过清洗处理后，可继续重复使用。