[发明专利]镀膜的金刚石切削的复制母盘和相关联的方法有效
| 申请号： | 201410590031.7 | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104552626B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 乔治·巴恩斯;唐纳德·库姆斯;迈克尔·里克斯;伊丽莎白·扎卡里 | 申请（专利权）人： | 豪威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于制备晶片级透镜阵列的镀膜的、金刚石切削的复制母盘及其形成方法。一种用于制备晶片级透镜阵列的镀膜的、金刚石切削的复制母盘包括低硬度金刚石可切削片、形成在低硬度金刚石可切削片中的型面、和形成在型面上用于保护型面的抗氧化涂层。型面包括多个光学体，所有多个光学体被单个金刚石切割工具切割至内部。一种用于形成镀膜的、金刚石切削的复制母盘的方法包括使用单个金刚石切割工具在低硬度金刚石可切削片中形成型面的步骤。型面包括多个光学体，所有光学体通过单个金刚石切割工具形成。该方法还包括在形成多个光学体的步骤之后，将型面用抗氧化涂层涂覆。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 金刚石 切削 复制 母盘 相关 方法 | ||
【主权项】：
一种用于形成镀膜的、金刚石切削的复制母盘的方法，包括以下步骤：使用单个金刚石切割工具在低硬度的金刚石可切削片中形成型面，所述型面包括多个光学体，所有所述多个光学体通过所述单个金刚石切割工具形成；和将所述型面用抗氧化涂层涂覆。
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