[发明专利]一种应用于铝基基材的Y3Al5O12涂层的制备方法

摘要

本发明涉及半导体刻蚀工艺腔室内表面防蚀处理技术领域，具体涉及一种应用于铝基基材的Y₃Al₅O₁₂涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：选择Y₃Al₅O₁₂粉末；通过等离子喷涂设备在待喷涂的铝基基材的表面喷涂碳化铬或氮化铬涂层；通过等离子喷涂设备在所述碳化铬或氮化铬涂层的表面喷涂Y₃Al₅O₁₂，制备出Y₃Al₅O₁₂涂层。本发明在铝基基材和Y₃Al₅O₁₂涂层之间加入碳化铬或氮化铬的粘结相，可以在Y₃Al₅O₁₂涂层与铝基基材之间起到很好的过渡作用，有效缓解Y₃Al₅O₁₂涂层与铝基基材的界面应力，增大界面结合强度。

主权项

1.一种应用于铝基基材的Y3Al5O12涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：选择Y3Al5O12粉末；通过等离子喷涂设备在待喷涂的铝基基材的表面喷涂碳化铬或氮化铬涂层，其中，在等离子喷涂的过程中，采用压缩空气喷吹方法或者循环水冷方法来冷却所述铝基基材，所述压缩空气喷吹方法中冷却气体的流量为100～2000L/min，所述循环水冷方法中冷却水的流量为10～500L/min；其中，所述等离子喷涂设备的电弧电压为40～80V，电弧电流为500～900A，送粉速度为10～80g/min，喷涂距离为60～160mm，粉斗搅拌速度5～40r/min，送粉角度为50°～90°，机械手移动速度为3～1000mm/s；控制碳化铬或氮化铬涂层厚度为20～200μm；其中，当在所述铝基基材表面喷涂氮化铬涂层后，对所述氮化铬涂层进行渗碳处理，让碳向氮化铬中扩散，使粘结层中的相分布依次为Cr3C2、Cr7C3、CrCxNy、Cr2N；通过等离子喷涂设备在所述碳化铬或氮化铬涂层的表面喷涂Y3Al5O12，制备出Y3Al5O12涂层。