[发明专利]可减少功率器件导通电阻的栅极衬垫结构在审
| 申请号： | 201410590768.9 | 申请日： | 2014-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN104282738A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 赵喜高 | 申请（专利权）人： | 深圳市可易亚半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423 |
| 代理公司： | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 | 代理人： | 廉红果 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可减少功率器件导通电阻的栅极衬垫结构，包括：第一漂移层、形成于所述第一漂移层中的数个有源单元、形成于所述第一漂移层与数个有源单元上的数条栅极衬垫条、以及形成于所述数个有源单元与数条栅极衬垫条上的钝化层，每一所述栅极衬垫条的中心部位位于两相邻有源单元之间的第一漂移层的上方。本发明提供的可减少功率器件导通电阻的栅极衬垫结构，其栅极衬垫结构由数条栅极衬垫条构成，并在该栅极衬垫条下方形成数个有源单元，可以增加微电流，同时也有效地降低应用该栅极衬垫结构的功率器件的导通电阻，导通电阻约降为原来的90%。 | ||
| 搜索关键词： | 减少 功率 器件 通电 栅极 衬垫 结构 | ||
【主权项】：
一种可减少功率器件导通电阻的栅极衬垫结构，其特征在于，包括：第一漂移层、形成于所述第一漂移层中的数个有源单元、形成于所述第一漂移层与数个有源单元上的数条栅极衬垫条、以及形成于所述数个有源单元与数条栅极衬垫条上的钝化层，每一所述栅极衬垫条的中心部位位于两相邻有源单元之间的第一漂移层的上方。
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