[发明专利]气体润滑与摩擦阻尼复合式高刚度高稳定性二维调整工作台

摘要

气体润滑与摩擦阻尼复合式高刚度高稳定性二维调整工作台属于精密仪器及机械技术领域；X向气浮滑板配置于底座与Y向气浮滑板之间，X向气浮滑板上的气浮工作面x5与Y向气浮滑板上的气浮工作面y3之间形成支承气膜，支承Y向气浮滑板；底座上的气浮工作面z与X向气浮滑板上的气浮工作面x3和气浮工作面x4之间形成支承气膜，支承X向气浮滑板；在底座的气浮工作面z上固装有相互平行的导轨A和B，在X向气浮滑板上固装有相互平行的导轨C和D；摩擦阻尼单元E1与导轨A和导轨B接触配合，摩擦阻尼单元E2与导轨C和导轨D接触配合；本发明建立了一种兼顾高刚度和高定位稳定性的精密平面二维调整装置。

主权项

一种气体润滑与摩擦阻尼复合式高刚度高稳定性二维调整工作台，包括底座(1)、X向气浮滑板(2)、Y向气浮滑板(3)、X向驱动系统(4)、Y向驱动系统(5)、工作台面(6)、导气管(7)和外部供气系统(8)，其特征在于：所述的X向气浮滑板(2)上配置有气浮工作面x1、气浮工作面x2、气浮工作面x3、气浮工作面x4、气浮工作面x5、非气浮工作面x6和非气浮工作面x7，其中气浮工作面x1和气浮工作面x2相互平行，气浮工作面x5和气浮工作面x3相互平行，气浮工作面x3和气浮工作面x4共面，气浮工作面x1垂直于气浮工作面x3；所述的Y向气浮滑板(3)上配置有气浮工作面y1、气浮工作面y2、气浮工作面y3、非气浮工作面y4、非气浮工作面y5和非气浮工作面y6，其中气浮工作面y1和气浮工作面y2相互平行，气浮工作面y1垂直于气浮工作面y3；所述的X向气浮滑板(2)上的气浮工作面x5与Y向气浮滑板(3)上的气浮工作面y3之间充入压力气体，形成支承气膜，支承Y向气浮滑板(3)；所述的底座(1)的上表面为气浮工作面z，在气浮工作面z与X向气浮滑板(2)上的气浮工作面x3和气浮工作面x4之间充入压力气体，形成支承气膜，支承X向气浮滑板(2)；在气浮工作面z上以X轴为中心上、下两侧对称固装有导轨A和导轨B，导轨A和导轨B平行安装；导轨A上的气浮工作面a与X向气浮滑板(2)上的气浮工作面x1相互配合，在气浮工作面a与气浮工作面x1之间充入压力气体，形成导向气膜；导轨B上的气浮工作面b与X向气浮滑板(2)上的气浮工作面x2相互配合，在气浮工作面b与气浮工作面x2之间充入压力气体，形成导向气膜；在所述的X向气浮滑板(2)的气浮工作面x1和气浮工作面x2上，固连有摩擦阻尼单元E1，摩擦阻尼单元E1与导轨A和导轨B接触配合；在X向气浮滑板(2)的气浮工作面x5上，以Y轴为中心左、右两侧对称固装有导轨C和导轨D，导轨C和导轨D平行安装；导轨C上的气浮工作面c与Y向气浮滑板(3)上的气浮工作面y1相互配合，在气浮工作面c与气浮工作面y1之间充入压力气体，形成导向气膜；导轨D上的气浮工作面d与Y向气浮滑板(3) 上的气浮工作面y2相互配合，在气浮工作面d与气浮工作面y2之间充入压力气体，形成导向气膜;在所述的Y向气浮滑板(3)的气浮工作面y1和气浮工作面y2上，固连有摩擦阻尼单元E2，摩擦阻尼单元E2与导轨C和导轨D接触配合；Y向气浮滑板(3)的非气浮工作面y6上，开设有多个螺纹孔(9)，通过螺纹孔(9)连接Y向气浮滑板(3)与工作台面(6)；在所述的X向气浮滑板(2)的气浮工作面x1上，固装有光栅尺F1，与安装在导轨A的读数头G1配用；在所述的Y向气浮滑板(3)的气浮工作面y1上，固装有光栅尺F2，与安装在导轨C的读数头G2配用；在所述的X向气浮滑板(2)的非气浮工作面x7上固装有限位器W1，与固装在导轨B上的限位触发开关H1配用，在所述的Y向气浮滑板(3)的非气浮工作面y4上固装有限位器W2，与固装在导轨D上的限位触发开关H2配用。