[发明专利]晶体生长设备及其作为氟代硼铍酸钾晶体生长设备的应用

摘要

本发明涉及晶体生长设备及其作为氟代硼铍酸钾晶体生长设备的应用，该设备包括加热炉、反应室、密封装置和减压装置，所述的反应室的下部埋设在加热炉内，密封装置密封反应室的上部，减压装置与密封装置连通。所述密封装置章的三层密封圈设计成功地解决了高温高压下的密封难题，可旋转的籽晶夹持器设置在反应室上端，通过精确控制籽晶生长方向，在高温减压的条件下使晶体实现快速定向生长，无需切割加工，所述电子控压计可以自动调节反应室压力值，该装置可以通过减压降低晶体的熔点，保证在浅过冷状态下晶体不挥发分解，配合陶瓷加热线圈和保温壳体更好的达到加热和保温效果。

主权项

一种晶体生长设备，其特征在于，该设备包括加热炉(1)、反应室(2)、密封装置(3)和减压装置(4)，所述的反应室(2)的下部埋设在加热炉(1)内，密封装置(3)密封反应室(2)的上部，减压装置(4)与密封装置(3)连通；所述的密封装置(3)包括法兰盖(301)、法兰盘(302)及连通管(306)，其中：所述的法兰盖(301)包覆反应室(2)的口部，法兰盘(302)将法兰盖(301)与反应室(2)密封；连通管(306)与法兰盖(301)一体式连通，减压装置(4)通过连通管(306)与反应室(2)的内部空间连通；所述的法兰盖(301)包括上部的密封盖和与密封盖同轴连接的下部套管，法兰盖(301)的下部套管贴合在反应室(2)的口部外周；所述的法兰盘(302)为与法兰盖(301)同轴贴合的圆环状部件，沿法兰盘(302)的下部圆周方向设有冷却盘(303)，法兰盘(302)和冷却盘(303)包合在法兰盖(301)下部套管的外周；沿所述的冷却盘(303)的内侧圆周上设有凸环(305)，凸环(305)与法兰盖(301)的下部套管的底周接合，且在凸环(305)与法兰盖(301)的下部套管的接合处设有密封圈(304)；所述的凸环(305)有多个，相邻的凸环(305)间设有密封圈(304)。