[发明专利]一种磁控管及半导体加工设备有效
| 申请号： | 201410593234.1 | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN105632855B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 杨玉杰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J25/50 | 分类号： | H01J25/50;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种磁控管及磁控溅射设备，包括多个磁体和第一背板，所述第一背板用于在其上以预设排列方式固定多个磁体，各个述磁体采用可拆卸连接方式直接固定在所述第一背板上。本发明提供的磁控管，其中的磁柱可以直接组装在第一挡板上，不仅便于组装，而且还可以减小组装时间；另外，该磁控管中的磁柱不会脱落，且可以重复利用，从而可以避免磁体的浪费，进而可以提高经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 背板 磁柱 组装 半导体加工设备 可拆卸连接方式 磁控溅射设备 预设排列方式 第一挡板 直接固定 直接组装 重复利用 减小 | ||
【主权项】：
1.一种磁控管，包括多个磁体和第一背板，所述第一背板用于在其上以预设排列方式固定多个磁体，其特征在于，各个所述磁体采用可拆卸连接方式直接固定在所述第一背板上，所述可拆卸连接方式包括螺纹连接方式，在所述磁体上与所述第一背板相接触的表面上设置凹部，所述凹部的内侧壁设置有螺纹。
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