[发明专利]传感器元件、力检测装置、机器人有效
| 申请号： | 201410594158.6 | 申请日： | 2014-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN104596680B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 河合宏纪;松沢明;神谷俊幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B25J19/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：第1以及第2压电体层；第3以及第4压电体层，其以第1以及第2压电体层的晶轴z与该第3以及第4压电体层的晶轴x正交的方式配置；第5以及第6压电体层，其以第3以及第4压电体层的晶轴x与该第5以及第6压电体层的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备包括设置在压电体层彼此之间的内部电极层的多个电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在层叠体的侧面，并包括与各电极层连接的侧面端子，将多个侧面端子设置在以第1以及第2压电体层的晶轴z为法线的侧面。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 检测 装置 机器人 | ||
【主权项】：
1.一种传感器元件，其特征在于，具有：X切割板；第1Y切割板，其以所述X切割板的晶轴z与该第1Y切割板的晶轴x正交的方式配置；第2Y切割板，其以所述第1Y切割板的所述晶轴x与该第2Y切割板的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板之间的内部电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子，将所述多个侧面端子设置在以所述X切割板的所述晶轴z为法线的所述侧面。
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