[发明专利]一种MEMS自对准高低梳齿及其制造方法有效
| 申请号： | 201410599134.X | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104370272A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 陈巧;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 熊玉玮 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS自对准高低梳齿及其制造方法，属于MEMS技术领域。自对准高低梳齿包括一端固定在衬底上而另一端与活动梳齿或者固定梳齿连接的抬升结构，抬升结构在生长应力作用下产生垂直方向的位移带动其连接的活动梳齿或者固定梳齿移动。采用SOI硅片，SOI的正面单晶硅器件层即为MEMS结构的机械结构层，引入的抬升机构与梳齿对依次形成于机械结构层上，由同一步刻蚀工艺形成固定梳齿和活动梳齿，由抬升结构中的应力将固定梳齿与活动梳齿在垂直方向上产生一定位移，从而形成了自对准高低梳齿，相对于多层机构的MEMS省去了多次键合的工艺，简化了制造工艺，大大降低加工成本和加工难度，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 对准 高低 梳齿 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS自对准高低梳齿，其特征在于，包括活动梳齿，固定梳齿和一端固定在衬底上而另一端与活动梳齿或者固定梳齿连接的抬升结构，所述抬升结构由至少一段弯曲梁和至少一段直梁组成，所述弯曲梁与所述直梁一起构成至少一个折弯的折叠梁结构，所述弯曲梁使所述折叠梁结构在垂直方向产生位移，从而带动与其连接的活动梳齿/固定梳齿与固定梳齿/活动梳齿处于不同平面，形成高低梳齿。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡微奥科技有限公司，未经无锡微奥科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410599134.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高纯度纳米AlN粉末的制备方法
- 下一篇：封闭式灌装机
