[发明专利]一种氧化钒薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201410600012.8 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN105621484A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘秋丽 | 申请（专利权）人： | 陕西高华知本化工科技有限公司 |
| 主分类号： | C01G31/02 | 分类号： | C01G31/02 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司 61220 | 代理人： | 康凯 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种氧化钒薄膜的制备方法，属于电子元件的制备领域，在乙二醇和丙三醇的混合溶剂中加入偏钒酸铵和催化剂盐酸，加热使其溶解，再加入稳定剂乙酰丙酮，合成溶胶，经放置聚合成溶胶体系；将硅片在溶液中煮沸30min，用去离子水洗净，然后低温烘干；以上述溶胶为基层，进行溶胶制的湿膜，湿膜在红外灯下照射5~10min形成固体膜；在270℃下热处理12min形成无机膜；反复2~3次后，再在600℃下热处理20min制得基层；在基层上制备氧化钒薄膜，每层的热处理温度为270℃，循环10次；最后在470~550℃的温度范围内进行热处理，完成薄膜制备。通过对其制备工艺的改进，可制得表面光滑、结构均匀、黏附性能好的氧化钒薄膜，本发明所述氧化钒薄膜的制备方法，操作简单易于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：（1）在乙二醇和丙三醇的混合溶剂中加入偏钒酸铵和催化剂盐酸，在红外灯下加热使其溶解，再加入稳定剂乙酰丙酮，合成溶胶，经20d 的放置聚合成满足要求的溶胶体系；（2）将硅片放入y(H2O:H2O2:NH4OH) = 5:3:1 的溶液中煮沸30 min ，用去离子水洗净，然后低温烘干；（3）以上述溶胶为基层，进行溶胶制的湿膜，湿膜在红外灯下照射5~10 min形成固体膜；在270℃下热处理12 min 形成无机膜；反复2~3次后，再在600℃下热处理20 min制得基层；（4）在基层上制备氧化钒薄膜时，每层的热处理温度为270℃，循环10次；最后在470~550℃的温度范围内进行热处理，完成薄膜制备。
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