[发明专利]一种透明导电薄膜的激光刻蚀方法有效
| 申请号： | 201410600730.5 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN104475979A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋仕彬 | 申请（专利权）人： | 苏州图森激光有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215011 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明导电薄膜的激光刻蚀方法，包括如下步骤：(1)采用短波长红外脉冲激光器输出波长在1.4μm～3.0μm之间的脉冲激光，脉冲宽度为0.1ns～800ns,并进行准直处理，所述短波长红外脉冲激光器为光纤激光器, 单脉冲激光能量为1～2000微焦, 脉冲频率为1千赫兹到1兆赫兹；(2)使所述脉冲激光束照射到放在二维平移台上的薄膜基板上，控制激光束与二维平移台相对运动，使激光束聚焦点在透明导电薄膜上按设定路径移动，进行刻蚀，控制激光和透明导电薄膜相对运动速度为50mm/s～9000mm/s, 光斑交叠程度为10～90%。本发明能够克服现有技术中激光聚焦精度要求高，实现复杂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 薄膜 激光 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
一种透明导电薄膜的激光刻蚀方法，其特征在于，包括如下步骤： (1)采用短波长红外脉冲激光器输出波长在1.4μm～3.0μm之间的脉冲激光，脉冲宽度为0.1ns～800ns,并进行准直处理，所述短波长红外脉冲激光器为光纤激光器, 单脉冲激光能量为1～2000微焦, 脉冲频率为1千赫兹到1兆赫兹；(2)使所述脉冲激光束照射到放在二维平移台上的薄膜基板上，控制激光束与二维平移台相对运动，使激光束聚焦点在透明导电薄膜上按设定路径移动，进行刻蚀，控制激光和透明导电薄膜相对运动速度为50mm/s～9000mm/s, 光斑交叠程度为10～90%。
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