[发明专利]一种硅片的连接结构在审
申请号: | 201410601056.2 | 申请日: | 2014-11-01 |
公开(公告)号: | CN105619630A | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 田芸 | 申请(专利权)人: | 无锡市福曼科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人: | 顾吉云 |
地址: | 214112 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种硅片的连接结构,其结构简单,能可靠固定住硅片连接件便于清洗,针对多个硅片输送时,无需增设输送架。其包括硅片连接件,硅片粘连于所述硅片连接件上,其特征在于:其还包括螺柱,所述螺柱的一端设置有耳环,所述硅片连接件的轴部设置螺纹孔,所述螺柱的螺纹端连接于所述硅片连接件的轴部螺纹孔。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 连接 结构 | ||
【主权项】:
一种硅片的连接结构,其包括硅片连接件,硅片粘连于所述硅片连接件上,其特征在于:其还包括螺柱,所述螺柱的一端设置有耳环,所述硅片连接件的轴部设置螺纹孔,所述螺柱的螺纹端连接于所述硅片连接件的轴部螺纹孔。
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