[发明专利]压印设备和制造物件的方法

摘要

本发明提供一种压印设备和制造物件的方法。所述压印设备用于执行利用模具在基底上模制压印材料以在基底上形成图案的压印处理，所述设备包括：供给装置，其配置成将渗透气体和可凝缩气体供给到在基底上的压印材料与模具之间的空间，所述渗透气体穿透模具、压印材料以及基底中的至少之一，并且所述可凝缩气体通过由于模制导致的压力上升而被液化；以及控制器，其配置成控制供给装置，以便基于与用于压印处理的配方相关的信息改变渗透气体的供给量和可凝缩气体的供给量中的至少之一。

主权项

1.一种压印设备，用于执行利用模具在基底上模制压印材料以在基底上形成图案的压印处理，所述设备包括：供给装置，该供给装置配置成将渗透气体和可凝缩气体供给到在基底上的压印材料与模具之间的空间，所述渗透气体渗透模具、压印材料以及基底中的至少之一，并且所述可凝缩气体通过由于模制导致的压力上升而被液化；以及控制器，该控制器配置成基于针对将被形成在基底上的图案的特征的每种类型表示可凝缩气体的浓度与将被形成在基底上的图案相对于模具图案的收缩比率之间的关系的信息、以及与所述特征的类型对应的信息来控制供给装置，以改变渗透气体的供给量和可凝缩气体的供给量中的至少之一，其中所述特征包括将被形成在所述基底上的图案的线宽、剖面形状、高度、以及表面粗糙度中的至少之一。