[发明专利]振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201410601643.1 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104596491B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 松尾敦司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607;G01C19/5614;G01C19/5621 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片包括在压电体的厚度方向(Z)上对置的第一主面(11)以及第二主面，并且具有在检测时沿着厚度方向(Z)进行振动的检测部。检测部具有：槽部，其在从被形成于第一主面上的开口起的深度方向上，于超过第一主面与第二主面之间的中立面的位置处具有槽底；内侧面电极，其被设置于面向槽部内的内侧面上；外侧面电极，其被形成于隔着压电体而与内侧面对置的外侧面上；一对槽底电极，其面向槽部并在与中立面相比靠槽底侧处互相隔开间隔而设置。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 角速度 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
1.一种振动片，其特征在于，具备检测部，所述检测部包括压电体的第一主面以及相对于所述第一主面而处于所述压电体的背面的第二主面，和对所述第一主面与所述第二主面进行连接的外侧面，并且所述检测部沿着与所述第一主面交叉的方向进行振动，所述检测部具备：槽部，其在从被设置于所述第一主面上的开口起的深度方向上，于超过所述第一主面与所述第二主面之间的中立面的位置处具有槽底；内侧面电极，其被设置于面向所述槽部内的内侧面上；外侧面电极，其被设置于所述外侧面上；一对槽底电极，其面向所述槽部内并在与所述中立面相比靠所述槽底侧处互相隔开间隔而设置。
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