[发明专利]微型传感器本体及其制造方法、微型传感器有效
| 申请号： | 201410601932.1 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104296799A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 季春燕;杨添 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器制造技术领域，公开了一种微型传感器本体及其制造方法，包括以下步骤：S1：在基板上涂布湿润胶体材料形成胶体层，在胶体层的表面覆盖一层一维纳米线膜，形成传感器胚体；S2：干燥传感器胚体的胶体层，使胶体层开裂形成多个胶体岛，一维纳米线膜一部分收缩形成粘附在胶体岛表面的收缩膜片，另一部分拉伸形成连接在相邻收缩膜片之间的连接结构。本发明的传感器本体中，收缩膜片与连接结构由一维纳米线膜抻拉而成，两者连接稳定性好，提高传感器件的稳定性；使用裂化的方法，容易获得大规模稳定悬浮的连接结构阵列传感器本体。本发明还提供一种传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 传感器 本体 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微型传感器本体的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在基板上涂布湿润胶体材料形成胶体层，在胶体层的表面覆盖一层一维纳米线膜，形成传感器胚体；S2：干燥传感器胚体的胶体层，使胶体层开裂形成多个胶体岛，一维纳米线膜一部分收缩形成粘附在胶体岛表面的收缩膜片，另一部分拉伸形成连接在相邻收缩膜片之间的连接结构。
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