[发明专利]半导体元件测试站在审

专利信息
申请号: 201410603155.4 申请日: 2014-10-31
公开(公告)号: CN105629146A 公开(公告)日: 2016-06-01
发明(设计)人: 蒋艳丽;李永备;张磊 申请(专利权)人: 扬州泽旭电子科技有限责任公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 扬州市锦江专利事务所 32106 代理人: 秦关华
地址: 225200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 半导体元件测试站,涉及半导体元件生产领域。包括底座、调节竖板、直板、测试横板、测试座调节台和测试座,直板通过固定座固定在底座上,调节竖板安装在直板上,测试横板设置在调节竖板上方,测试座调节台固定在测试横板上,测试座安装在测试座调节台上,调节竖板上安装有气缸,气缸的输出端固定有连接板。本发明的调节竖板上安装有气缸,气缸的输出端通过连接板连接测试横板,测试时,先要调整好气缸的气压,气缸上顶测试横板,带动测试横板上的测试座上行,若吸嘴下压测试座的压力大于气缸上顶作用力时,气缸自动缩回,避免了半导体元件的损坏。
搜索关键词: 半导体 元件 测试
【主权项】:
半导体元件测试站,包括底座、调节竖板、直板、测试横板、测试座调节台和测试座,所述直板通过固定座固定在底座上,调节竖板安装在直板上,测试横板设置在调节竖板上方,测试座调节台固定在测试横板上,测试座安装在测试座调节台上,其特征在于:所述调节竖板上安装有气缸,气缸的输出端固定有连接板,所述连接板与测试横板固定,通过气缸输出端的连接板带动测试横板上下位移。
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