[发明专利]一种AlSiC复合基板的高性能绝缘层在审
| 申请号： | 201410604491.0 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN104347782A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李国强;凌嘉辉;杨美娟 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L33/64 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈文姬 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AlSiC复合基板的高性能绝缘层，包括AlSiC复合基板、类钻碳薄膜和氮化铝薄膜，所述类钻碳薄膜沉积在AlSiC复合基板上；所述氮化铝薄膜沉积在类钻碳薄膜上。本发明的AlSiC复合基板的高性能绝缘层，具有结构简单、导热性能好、绝缘性能优异的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 alsic 复合 性能 绝缘 | ||
【主权项】：
一种AlSiC复合基板的高性能绝缘层，其特征在于，包括AlSiC复合基板、类钻碳薄膜和氮化铝薄膜，所述类钻碳薄膜沉积在AlSiC复合基板上；所述氮化铝薄膜沉积在类钻碳薄膜上。
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