[发明专利]管式PECVD石墨舟装卸片系统及其工艺

摘要

本发明涉及一种管式PECVD石墨舟装卸片系统，所述系统包含有石墨舟移送机构（1），运载石墨舟进行水平移动；硅片上料机构（2），将待加工硅片提取出花篮；硅片卸料机构（3），对加工好的硅片进行翻转卸料；硅片抓取移载机构（4），对硅片进行吸附并以直线运动进行移载；石墨舟装卸机构（5），对石墨舟进行装卸。本发明一种管式PECVD石墨舟装卸片系统，定位精确且生产效率高。

主权项

一种管式PECVD石墨舟装卸片工艺，其特征在于：所述工艺通过一种管式PECVD石墨舟装卸片系统实现，所述系统包含有：石墨舟移送机构（1），运载石墨舟进行水平移动；硅片上料机构（2），将待加工硅片提取出花篮；硅片卸料机构（3），对加工好的硅片进行翻转卸料；硅片抓取移载机构（4），对硅片进行吸附并以直线运动进行移载；石墨舟装卸机构（5），对石墨舟进行装卸；所述石墨舟装卸机构（5）包含有通过直线导轨滑动连接于龙门架（6）横梁上的滑移块（5.1），所述滑移块（5.1）上通过直线导轨竖向滑动连接有升降板（5.2），所述升降板（5.2）底部水平连接有石墨舟抓手（5.3）；所述石墨舟移送机构（1）包含有安装于支架（1.1）上的轨道槽板（1.2），所述轨道槽板（1.2）内沿其长度方向安装有两条直线导轨（1.3），所述直线导轨（1.3）的滑块上安装有移送载板（1.4），石墨舟安放于上述移送载板（1.4）上；所述硅片抓取移载机构（4）包含有沿龙门架（6）横梁长度方向设置的两组抓手用直线导轨（4.1），所述抓手用直线导轨（4.1）的滑块与抓手滑板（4.2）相连接，所述抓手滑板（4.2）上竖向滑动连接有一“L”形升降板（4.5）；所述“L”形升降板（4.5）的底板上竖向安装有一旋转电机（4.8），该旋转电机（4.8）的转轴上连接有一抓手吸盘架（4.9），所述抓手吸盘架（4.9）底部安装有三组吸盘（4.10）；每组吸盘（4.10）设置有20个陶瓷吸盘；石墨舟移送机构（1）的一侧安装有硅片上料机构（2）；所述硅片上料机构（2）包含有上料底板（2.1），所述上料底板（2.1）通过直线导轨水平滑移连接有上料支座（2.2），且上料支座（2.2）的移动方向与石墨舟移送机构（1）上的石墨舟移动方向相垂直；所述上料支座（2.2）上通过直线导轨垂直滑动连接有上料托架（2.3），所述上料托架（2.3）上设置有相互平行的三组卸料定位齿板（2.3.1），且上料托架（2.3）上方设置有物料台（2.4），该物料台（2.4）上设置有供卸料定位齿板（2.3.1）插入的工作槽位（2.4.1），该工作槽位（2.4.1）的左右侧均设置有整理气缸（2.5），整理气缸（2.5）的活塞杆上连接有整理条（2.6）；所述石墨舟移送机构（1）的另一侧安装有硅片卸料机构（3）；所述硅片卸料机构（3）包含有卸料支柱（3.1），所述卸料支柱（3.1）上通过直线导轨竖向滑动连接有卸料底板（3.2），所述卸料底板（3.2）上通过卸料托架（3.3）安装有翻转电机（3.4），所述翻转电机（3.4）的转轴与卸料花篮（3.5）相连，所述卸料底板（3.2）旁设置有卸料平台（3.6），该卸料平台（3.6）上通过直线导轨滑动连接有卸料板（3.7），该卸料板（3.7）的一侧设置有用于安放花篮的卸料仓（3.9），另一侧上装有卸料传输带（3.8），且卸料传输带（3.8）位于卸料花篮（3.5）的下方；所述工艺包含有以下步骤：步骤一、装载有加工好的硅片的石墨舟进行上料区域，石墨舟具有6格装载区，每格装载区装入20片硅片；步骤二、装载有加工好的硅片的石墨舟移送至工作区域；步骤三、水平移动抓手至步骤二工作区域的上方，该抓手具有3组，每组20个吸盘；步骤四、下降抓手至石墨舟内，将石墨舟间隔排列的3格装载区内的总计60片硅片吸附住；步骤五、抓手带动硅片上升，然后水平移动至卸片处放下硅片；步骤六、抓手移动至硅片上片区域，抓取未加工的硅片，然后放入步骤四中已经取出硅片的石墨舟的装载区内；步骤七、石墨舟前行一个装载区的距离，重复步骤三至步骤六，将剩余的60片加工好的硅片至卸片处，并将60片未加工的硅片放入至上述石墨舟装载区内；步骤八、在进行步骤二至步骤七的同时，另一装载有加工好的硅片的石墨舟进行上料区域；步骤九、完成步骤七的装载有未加工的硅片的石墨舟移动至下料区域；同时将步骤八中的另一装载有加工好的硅片的石墨舟移动至工作区域。