[发明专利]一种水冷式变形镜在审
| 申请号： | 201410605284.7 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN104330892A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 张卫;徐宏来;唐淳;向汝建;何忠武;高清松;关有光;雒仲祥;李国会 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿诚;吴彦峰 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种水冷式变形镜，包括冷却系统、冷却腔体、支撑架、驱动器和反射镜，所述的反射镜的一面为反射面，另一面为基准面，所述基准面的边缘刻蚀有边框，边框内部区域通过加工刻蚀为若干个圆柱；驱动器的输出端设置有若干个连接点，所述基准面上的一个圆柱对应驱动器输出端的一个连接点；圆柱与驱动器输出端的连接点之间通过粘结剂粘结在一起；本发明通过对反射镜的一面通过刻蚀工艺刻蚀出若干个圆柱能有效的增加反射镜与冷却介质的接触面积，同时通过圆柱连接，可以减小整个反射镜与驱动器连接产生的应力，改善反射镜的静态面形，克服现有的诸多技术难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水冷 变形 | ||
【主权项】：
一种水冷式变形镜，包括冷却系统、冷却腔体、支撑架、驱动器和反射镜，所述驱动器和冷却腔体固定在支撑架上，驱动器的输出端穿过冷却腔体的底部与反射镜的一面粘结，冷却系统中的冷却介质穿过冷却腔体循环流动，所述冷却系统、冷却腔体、支撑架、驱动器和反射镜封装为一体；其特征在于：所述反射镜的一面为反射面，另一面为基准面，所述基准面的边缘刻蚀有边框，边框内部区域通过加工刻蚀为若干个圆柱；所述驱动器的输出端设置有若干个连接点，所述基准面上的一个圆柱对应驱动器输出端的一个连接点；圆柱与驱动器输出端的连接点之间通过粘结剂粘结在一起；所述基准面的边框与冷却腔体粘结为一体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院应用电子学研究所，未经中国工程物理研究院应用电子学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410605284.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法
- 下一篇：回热电卡制冷装置
