[发明专利]一种钠离子传感器及其制造方法

摘要

本发明公开一种钠离子传感器及其制作方法，钠离子传感器包括基板；第一钠离子选择电极，第一钠离子选择电极包括设置于基板上的第一反应电极；第二钠离子选择电极，第二钠离子选择包括设置于基板上的第二反应电极；覆盖在第一反应电极和第二反应电极上的固态电解质参比层；设置于固态电解质参比层上的钠离子敏感膜；绝缘层，绝缘层设置于钠离子敏感膜上，并且绝缘层上设置有第一开口和第二开口，第一开口与钠离子敏感膜连通形成第一反应腔，第二开口与钠离子敏感膜连通形成第二反应腔；盐桥，盐桥设置于绝缘层上，盐桥的一端延伸至第一反应腔内，且另一端延伸至第二反应腔内。通过上述方式，本发明钠离子传感器能够微型化，便于携带，且操作方便。

主权项

一种钠离子传感器，其特征在于，包括：基板；第一钠离子选择电极，所述第一钠离子选择电极包括设置于所述基板上的第一反应电极；第二钠离子选择电极，所述第二钠离子选择包括设置于所述基板上的第二反应电极；固态电解质参比层，所述固态电解质参比层覆盖在所述第一反应电极和第二反应电极上；钠离子敏感膜，所述钠离子敏感膜设置于所述固态电解质参比层上；绝缘层，所述绝缘层设置于所述钠离子敏感膜上，并且所述绝缘层上设置有第一开口和第二开口，所述第一开口与所述钠离子敏感膜连通形成第一反应腔，所述第二开口与所述钠离子敏感膜连通形成第二反应腔，其中，所述第一反应腔位于第一反应电极上方，所述第二反应腔位于第二反应电极上方；盐桥，所述盐桥设置于所述绝缘层上，其中，所述盐桥的一端延伸至所述第一反应腔内，且另一端延伸至所述第二反应腔内。