[发明专利]一种大型球球度误差自动分离装置及其方法

摘要

本发明公开一种大型球球度误差自动分离装置及其方法，利用单轴气浮台和气浮板代替圆度仪的功能来检测球度误差，气浮平板用于调整气浮球球心与单轴气浮台的回转轴线的偏心量，弧形支架与单轴气浮台的轴套基座固联，测微仪的安装在弧形支架上，保证测头的敏感方向指向球心。本发明建立了测微仪的读数与单轴气浮台的旋转角度、测微仪所在纬度角、单轴气浮台的倾角回转误差、径向回转误差、轴向回转误差、气浮球的安装偏心误差、气浮球的球度误差之间的函数关系，然后根据这个函数关系设计了误差分离方法。本装置实现大型球球度误差的检测；测量精度为0.4μm，本发明的方法，使分离出的球度误差更加准确、方便快捷。

主权项

一种大型球球度误差自动分离装置，包括单轴气浮台和气浮平板，其特征在于，气浮平板包括平板底板、平板台体和平板台面，平板台面固定安装在平板台体上，平板台体和平板台面之间安装有密封圈，平板台体位于平板底板上方，平板台体的下平面安装有节流器，节流器与气源相连接，气浮平板安装在单轴气浮台的台面上，单轴气浮台的台面两侧安装有两个微调机构，能够调整平板台体的位置，被测气浮球安装在气浮平板上，平板台体处于悬浮状态时，通过微调机构调整平板台体的位置，对被测气浮球机械调心，调整被测气浮球的球心位于单轴气浮台的回转轴线上，弧形支架与单轴气浮台的轴套基座固联，测微仪的测头通过夹具安装在弧形支架上，测微仪的敏感方向为被测气浮球球面处的法线方向，误差小于1°，夹具在弧形支架的弧槽中自由滑动并能锁定在被测气浮球某纬度位置；单轴气浮台的倾角回转误差小于0.3″，径向回转误差小于0.5μm，轴向回转误差小于0.5μm。