[发明专利]悬臂梁法测薄膜应力装置无效
| 申请号： | 201410609149.X | 申请日： | 2014-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN104316235A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 尚修鑫 | 申请（专利权）人： | 苏州精创光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种悬臂梁法测薄膜应力装置，包括用于沉积薄膜的基板，所述基板的一端固定在一固定夹具上，另一端悬空，所述基片的上方设有一照射光源，所述镭射光光源发出的光照射至基板上薄膜表面并反射至一光源接收器上，所述光源接收器与数据处理器连接。本发明通过测量薄膜弯曲钱和弯曲后的经过镭射光照射后的光谱信息，得到反射光的偏移量，进而求的薄膜表面的残余应力，本发明装置的结构简单，测量操作方便，测量结果准确，适用于大部分光学薄膜的表面残余应力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 薄膜 应力 装置 | ||
【主权项】：
一种悬臂梁法测薄膜应力装置，其特征在于：包括用于沉积薄膜的基板(1)，所述基板(1)的一端固定在一固定夹具(2)上，另一端悬空，所述基片(1)的上方设有一照射光源(3)，所述照射光源(3)发出的光照射至基板(1)上薄膜表面并反射至一光源接收器(4)上，所述光源接收器(4)与数据处理器(5)连接。
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