[发明专利]静电夹盘外围的插入环的介电常数的调整方法

摘要

本发明提供了一种静电夹盘外围的插入环的介电常数的调整方法，所述插入环为能够通入和排出流体的中空腔体结构，所述调整方法包括：步骤A、获取插入环的预定介电常数；所述预定介电常数由反应腔体内待加工晶圆上方的等离子体密度及其分布确定；步骤B、根据所述插入环的预定介电常数，选取与所述预定介电常数相对应的流体介电质；步骤C、向所述中空腔体内通入选取的流体介电质。通过本发明提供的调整方法，可以实现插入环介电常数的大幅度且精确调整。

主权项

1.一种静电夹盘外围的插入环的介电常数的调整方法，所述插入环为能够通入和排出流体的中空腔体结构，其特征在于，包括：步骤A、获取插入环的预定介电常数；所述预定介电常数由反应腔体内待加工晶圆上方的等离子体密度及其分布确定；步骤B、根据所述插入环的预定介电常数，选取与所述预定介电常数相对应的流体介电质；步骤C、向所述中空腔体内通入选取的流体介电质；所述方法还包括：改变通入中空腔体结构中的流体介电质的温度以调整所述插入环的介电常数；其中，根据所述插入环的预定介电常数选取的流体介电质至少包括两种，所述步骤B之后，所述步骤C之前，还包括：步骤D、根据所述插入环的预定介电常数以及不同种类的流体介电质的介电常数，确定不同种类的流体介电质的体积比例；所述步骤C具体为：按照确定的不同种类的流体介电质的体积比例向所述中空腔体内通入选取的流体介电质。