[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201410616099.8 | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN104634501B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | C-H·林;T·L·唐;W·S·苏;C·M·林;R·赫梅尔;U·巴特世;M·赫玛斯道夫 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡晓萍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种压力传感器，包括：第一基底(1)和附连到第一基底(1)的盖(4)。盖(4)包括处理电路(241)、腔室(41)以及可变形隔膜(42)，该隔膜隔离腔室(41)和通向压力传感器外界的开口。提供感应装置，其将可变形隔膜(42)对开口处的压力响应转换为信号，信号能够被处理电路(241)处理。盖(4)附连到第一基底(1)，可变形隔膜(42)面向第一基底(1)，且间隙(6)设置在可变形隔膜(42)和第一基底(1)之间，该间隙(6)有助于开口。第一基底(1)包括附连盖(4)的支承部分(7)、将压力传感器电连接到外部装置的接触部分(8)，以及用以从接触部分(8)中悬置出支承部分(7)的一个或多个悬置元件(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 可变形隔膜 压力传感器 处理电路 支承 开口 感应装置 隔离腔室 外部装置 悬置元件 压力响应 电连接 开口处 附连 腔室 悬置 隔膜 转换 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括：第一基底(1)，附连到所述第一基底(1)的盖(4)，其中，盖(4)包括处理电路(241)、腔室(41)以及可变形隔膜(42)，所述隔膜将所述腔室(41)和通向所述压力传感器外部的开口分离，以及感应装置，用于将所述可变形隔膜(42)对开口处的压力响应转换为信号，所述信号能够被所述处理电路(241)处理，其中，所述盖(4)附连到所述第一基底(1)，所述可变形隔膜(42)面向所述第一基底(1)，且在所述可变形隔膜(42)和所述第一基底(1)之间设置间隙(6)，所述间隙(6)有助于所述开口，其中，所述第一基底(1)包括所述盖(4)附连于其上的支承部分(7)、将所述压力传感器电连接到外部装置的接触部分(8)，以及用以从所述接触部分(8)中悬垂出所述支承部分(7)的一个或多个悬置元件(9)；第二基底(2)，第三基底(3)，其中，所述第三基底(3)被安装到所述第二基底(2)，由此，覆盖所述第二基底(2)内的腔室(41)以形成可变形隔膜(42)，所述可变形隔膜用以感应施加其上的压力，其中，所述第二基底(2)和所述第三基底(3)的组件被安装到所述第一基底(1)的支承部分(7)上，以及其中，围绕接触部分(8)的位于所述第一基底(1)内的槽(10)将所述压力传感器电连接到外部装置，由此，藉由所述悬置元件(9)使所述支承部分(7)从所述接触部分(8)中悬置出来。
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