[发明专利]通讯波段GaN基量子级联高速激光器在审
申请号: | 201410617322.0 | 申请日: | 2014-11-05 |
公开(公告)号: | CN104332820A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 郑婉华;赵鹏超;齐爱谊;渠红伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/06 | 分类号: | H01S5/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种通讯波段GaN基量子级联高速激光器,包括:一衬底;一半导体材料缓冲层;一下半导体材料接触层;一下光学限制层,为圆形、环形或矩形,其制作在下半导体材料接触层上面的一侧,该下半导体材料接触层上面的另一侧形成一台面;一半导体材料有源层,其制作在下光学限制层上;一上光学限制层,其制作在半导体材料有源层上;一上半导体材料接触层,其制作在上光学限制层上;一第一金属电极,为圆形、环形或矩形,其制作在台面上;一第二金属电极,其制作在上半导体材料接触层上。本发明利用子带跃迁速率快与激光器腔模小体积优势,实现高速直接调制激光器,将调制速率增加到百G水平。 | ||
搜索关键词: | 通讯 波段 gan 量子 级联 高速 激光器 | ||
【主权项】:
一种通讯波段GaN基量子级联高速激光器,包括:一衬底;一半导体材料缓冲层,其制作在衬底上;一下半导体材料接触层,其制作在半导体材料缓冲层上;一下光学限制层,为圆形、环形或矩形,其制作在下半导体材料接触层上面的一侧,该下半导体材料接触层上面的另一侧形成一台面;一半导体材料有源层,形状与下光学限制层相同,其制作在下光学限制层上;一上光学限制层,形状与下光学限制层相同,其制作在半导体材料有源层上;一上半导体材料接触层,形状与下光学限制层相同,其制作在上光学限制层上;一第一金属电极,为圆形、环形或矩形,其制作在下半导体材料接触层上面另一侧的台面上;一第二金属电极,形状与下光学限制层相同,其制作在上半导体材料接触层上。
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