[发明专利]一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法

摘要

本发明涉及一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法，用于测量半导体表面微区的表面光电压谱，解决表面光电压谱不具备空间分辨能力的特点，原子力显微镜和光谱仪是通过斩波器调制可变光波长信号、表面电势变化结合锁相放大器进行联用的，可以给出半导体微区的表面光电压谱和相位角分辨谱图。

主权项

1.一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法，其特征在于：包括：1)激发光源发出的激发光通过单色仪分光得到波长连续可调的单色光，该单色光利用斩波器调制，调制后单色光再通过透镜聚焦到待测固体样品表面；2)利用原子力显微镜的探针测量单色光照射的待测固体样品所需测量区域的表面电势，将测量获得的表面电势信号输出到锁相放大器信号输入端；同时，将斩波器频率信号输入到锁相放大器信号参考信号输入端；3)由锁相放大器输出振幅以及相位角信号；4)通过单色仪改变照射到待测固体样品表面单色光的波长，重复步骤2)和3)过程2次以上；5)以单色仪分光得到单色光波长为横坐标，以锁相放大器输出的振幅信号为纵坐标，绘制出待测固体样品所需测量区域表面的表面光电压谱图；和/或，以单色仪分光得到单色光波长为横坐标，以锁相放大器输出的相位角信号为纵坐标，绘制出待测固体样品所需测量区域表面的相位角谱图。